广州潽拓光电科技有限公司是一家专业做莱宝分子泵维修、德国莱宝真空泵维修、原装莱宝真空泵维修、莱宝涡轮分子泵维修的公司,专业莱宝分子泵保养维修,修理,莱宝复合分子泵维修,修理,现在针对广州各地均可收件。
广州潽拓光电——Pfeiffer Hipace80分子泵
分子泵应用一:Hipace 80,Hipace 400 用于分子束外延 MBE,主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长。
分子泵应用二:Hipace 80,Hipace 300 用于SPECS 近常压光电子能谱仪设备
涡轮分子泵 Hipace 80 技术参数:分子泵型号接口 DN抽速 l/s压缩比高启动压强mbar极限压力全转速气体流量hPa l/s启动时间重量进气口排气口氮气
N2氦气He氢气 H2氮气
N2氮气N2hPa氮气N2minkgHiPace 806316675848> 1X101122< 1X10–71.31.752.4
分子泵应用:
分析仪器:电子显微镜、检漏、小型质谱、表面分析、残余气体分析
半导体:PVD inspection bonding MBE load-locks
工业:医学技术、工业检漏、隔离真空、灯管制造
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特点
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;
(2)转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;
(3)泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;
(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差;
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。
⑼真空泵的价格、运转及维修费用。
机械安装
⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所,周围应留有充分的余地,便于检查、维护、保养。
⑵真空泵底座下应保持地基水平,底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装,确保真空泵运转平稳,振动小。
⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠,对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶,对小真空泵可采用真空胶管连接,管道管径不得小于真空泵吸气口径,且要求管路短而少弯头。(焊接管路时应清除管道中焊渣,严禁焊渣进入真空泵腔。)
⑷在连接管路中,用户可在真空泵进气口上方安装阀门及真空计,随时可检查真空泵的极限压力。
⑸按电动机标牌规定连接电源,并接地线和安装合适规格的熔断器及热继电器。
⑹真空泵通电试运转时,须取下电机皮带,确认真空泵转向符合规定方向方可投入使用,以防真空泵反转喷油。(转向按防护罩指示方向)
⑺对于有冷却水的真空泵,按规定接通冷却水。
⑻如真空泵口安装电磁阀时,阀与真空泵应同时动作。
⑼当真空泵排出气体影响工作环境时,可在排气口装接管道引离或装接油雾过滤器。
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广州潽拓光电科技——LEYBOLD SOGEVAC SV40B维修
SOGEVAC系列单级油封旋片泵的主要技术参数为:
抽速:10m3/h~1400m3/h
极限真空度:
SV10B,SV16B,SV25B,SV40B,SV65B,SV100B极限真空度为
<0.5mbar (无气镇分压强)
<1.5mbar (带气镇分压强)
SV200,SV300,SV500,SV630/B/BF,SV750/B,SV1200,SV1400的极限真空度为
<8×10-2mbar (无气镇分压强)
<7×10-1mbar (带气镇分压强)
排水蒸气能力:0.3~23公斤/小时
欧瑞康莱宝的SOGEVAC系列单级油封旋片泵的主要特点有:
1、很强的排除水蒸气的能力。
2、出口油雾过滤器为标准配置,真空泵油循环使用,无油烟,清洁、环保、省油。
3、可以在进口压力为大气压的情况下连续工作。
4、在低压强下仍能保持高的抽速。
5、内置自动防返油阀。
6、SV630以下为风冷,不需要水冷,经济方便。
7、低噪音,低振动。
8、结构紧凑,体型小,节省空间。
9、可以与各种附件配套使用,因而可以满足各种不同应用的需要。